AE người thậtձͻ201794ϢǰԺйԭίίԱϯҲܻ鲢ȡǿƴʩ鹤ڽ528յŷʱ524Fuenlabrada1һ˰Ԫϰ2ͽͷͲֳֵĸͷƼΪҽԺĿǰʱΣӵܿ콫2ץƻڵʱ26տͥ»527յݵý屨úóײǰֹںɳֺͰIJƷ
ԵٴȺȺﲿ˽֪ǴΪǮҲƷβǿҪվλѼάϰƽǺĵλάϰƽͬ־ΪĵĵȨͼͳһ쵼Ϊ幤ҪӼᶨηԭε·ͬϰƽͬ־Ϊĵĵ뱣ָ߶һҪ,۽ΥΥʲôʲôԴаȷ˼õʵǿ幤ԺЧҪͳȫõǰְΪ۽չͳץٸĸṹո幤ɹʵı¸µijЧƶ˷չ̨ǰͨնԱʽԻ̸ֱܳ仯ضҡͬΪͨӦԳϣڿʵͼĻöӦķ
Ҳ1961ںоѧѧ˶ʿʦйҵලίԱϯίίԱʿ˾Ӧԡ·ͬ϶Ͻнһȷϸذ참ԱΪһԡ·ҪһӦڹ淶ΪͬʱĽڷڻͬȺŴƷгҪ㷺·ΣַùȺзʶⱻ·
ý17ձǰоȫоƬ豸̡ASML̨ȽEUVߣֵ̻1.2ԪĿǰҵѴɹʶʹEUV̻ʹ뵼оƬ7nm5nmʱϢ̨൱оȥȫ豸2019ǰ